CVD系列真空電阻式氣相沉積爐

    所屬類別 ： 特種爐型

    產品編號 ： T-002 

    產品名稱 ： CVD系列真空電阻式氣相沉積爐  

    裝料方式 ： 立式

    • 產品詳情

    ◇產品描述  ：化學氣相沉積爐是用采用石墨加熱，用石墨軟氈、不銹鋼框架組合隔熱屏隔熱的單室立、臥式真空爐?；瘜W氣相沉積爐主要用于碳材料的氣相致密化處理。

     

    ◇主要技術指標

    型號

    有效區尺寸 (mm)

    裝爐量 (kg)

    加熱功率 (kw)

    最高溫度 (℃)

    溫度均勻性 (℃)

    極限真空度 (Pa)

    壓升率 (Pa/h)

    氣冷壓強 (bar)

    CVD251212

    2500x1200x1200

    1500

    650

    1500

    5

    10

    0.05

    /

    CVD401515

    4000x1500x1500

    6000

    650

    1300

    10

    10

    0.05

    /

    CVD181828

    1800x1800x2800

    800

    810

    1500

    10

    30

    0.08

    /

    注：個別指標可以根據客戶需求訂制。

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