CVD系列真空電阻式氣相沉積爐
所屬類別 : 特種爐型
產品編號 : T-002
產品名稱 : CVD系列真空電阻式氣相沉積爐
裝料方式 : 立式
- 產品詳情
◇產品描述 :化學氣相沉積爐是用采用石墨加熱,用石墨軟氈、不銹鋼框架組合隔熱屏隔熱的單室立、臥式真空爐?;瘜W氣相沉積爐主要用于碳材料的氣相致密化處理。
◇主要技術指標
型號 | 有效區尺寸 (mm) | 裝爐量 (kg) | 加熱功率 (kw) | 最高溫度 (℃) | 溫度均勻性 (℃) | 極限真空度 (Pa) | 壓升率 (Pa/h) | 氣冷壓強 (bar) |
CVD251212 | 2500x1200x1200 | 1500 | 650 | 1500 | 5 | 10 | 0.05 | / |
CVD401515 | 4000x1500x1500 | 6000 | 650 | 1300 | 10 | 10 | 0.05 | / |
CVD181828 | 1800x1800x2800 | 800 | 810 | 1500 | 10 | 30 | 0.08 | / |
注:個別指標可以根據客戶需求訂制。